[发明专利]用于制造垂直型基于鳍片的场效应晶体管的方法和系统在审
| 申请号： | 202010713496.2 | 申请日： | 2020-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN112289847A | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 克里夫·德劳利;雷·米拉诺;苏巴什·皮达帕蒂;安德鲁·P·爱德华兹;崔浩;沙欣·谢里夫扎德 | 申请（专利权）人： | 新时代电力系统有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L29/205;H01L29/78;H01L21/336 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 易皎鹤 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种晶体管，包括：衬底，其具有第一表面以及与第一表面相对的第二表面；漂移区，其具有在衬底的第一表面上的掺杂区以及在掺杂区上的渐变掺杂区；半导体鳍片，其从渐变掺杂区突出，并且在所述半导体鳍片的上部分处包括金属化合物层；在所述金属化合物层上的源极金属接触；栅极层，其具有与渐变掺杂区直接地接触的底部部分；以及在衬底的第二表面上的漏极金属接触。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 垂直 基于 场效应 晶体管 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于新时代电力系统有限公司，未经新时代电力系统有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010713496.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：磁性粉末、磁性粉末的制造方法、压粉磁芯及线圈部件
- 下一篇：电接线盒
- 同类专利
- 专利分类
