[发明专利]一种双共振腔VCSEL激光器及其制作方法在审
| 申请号： | 202010711057.8 | 申请日： | 2020-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN112310809A | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 蔡文必;曾评伟;范纲维 | 申请（专利权）人： | 厦门市三安集成电路有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/187 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人： | 张松亭;陈淑娴 |
| 地址： | 361000 福建省厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种双共振腔VCSEL激光器，包括由下至上按序设置的第一DBR、第一共振腔、中间DBR组、第二共振腔和第二DBR，其中中间DBR组由下至上包括第三DBR和第四DBR；第一共振腔用于生成第一光束，第二共振腔用于生成第二光束，第一光束的波长小于或等于第二光束的波长，第一共振腔产生的第一光束垂直耦合至第二共振腔。本发明还公开了上述激光器的制作方法。本发明采用垂直配置的双共振腔结构，其中一个作为慢光源，产生的光束透过垂直光耦合到主要工作共振腔中，使导带载子获得补充，提高了VCSEL激光器的操作带宽，增加了信号传输速度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 共振 vcsel 激光器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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