[发明专利]超级结绝缘栅双极型晶体管结构及其制作方法在审
| 申请号： | 202010707869.5 | 申请日： | 2020-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN111799323A | 公开（公告）日： | 2020-10-20 |
| 发明（设计）人： | 卢烁今 | 申请（专利权）人： | 苏州华太电子技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L29/739;H01L21/331 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 赵世发 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超级结绝缘栅双极型晶体管结构及其制作方法。所述超级结绝缘栅双极型晶体管结构包括沿第一方向依次设置的集电区、第一外延层和第二外延层，所述集电区与集电极配合设置；所述第一外延层内分布有间隔设置的多个超级结结构，所述超级结结构包括沿第一方向依次设置的两个以上的超级结，且所述两个以上的超级结于第二方向上相互错开；所述第二外延层内分布有间隔设置的多个第一沟槽，每一第一沟槽内设置有一栅极。本发明提供的超级结绝缘栅双极型晶体管结构可以降低导通时的饱和压降，以及，本发明实施例提供的超级结绝缘栅双极型晶体管结构可以加快器件关断时漂移区内空穴的复合速度、减少拖尾电流、降低了关断损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 超级 绝缘 栅双极型 晶体管 结构 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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