[发明专利]基板升降机构在审
| 申请号： | 202010703341.0 | 申请日： | 2020-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN111960313A | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 张伟业;彭博;郑云龙 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | B66F7/00 | 分类号： | B66F7/00;H01L21/677;H01L21/687 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 汪海 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体生产领域，具体地说是一种基板升降机构，包括承载台、pin针、pin针安装环、升降座、升降驱动装置和升降传动组件，其中所述升降座通过所述升降驱动装置驱动升降，且所述升降驱动装置通过所述升降传动组件递力矩，所述升降座上端与所述pin针安装环固连，在所述pin针安装环上方设有承载台，并且所述pin针安装环上沿着圆周方向设有pin针，所述承载台上沿着圆周方向设有供所述pin针穿过的通孔，另外所述承载台设有固定pin和可转动的夹持pin，且基板通过所述固定pin和夹持pin固定。本发明可有效防止基板损伤，且能够精准传送基板。 | ||
| 搜索关键词： | 升降 机构 | ||
【主权项】：
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