[发明专利]一种半导体设备建模方法及装置在审
| 申请号： | 202010683246.9 | 申请日： | 2020-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN111967137A | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 柴加加 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/20 | 分类号： | G06F30/20;G06F9/445 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 莎日娜 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供了一种半导体设备建模方法及装置，该方法包括：响应于添加指示操作，确定用于展示设备模型对象的源控件的类型和用于展示设备模型树的目标控件的类型，其中，添加指示操作用于选择设备模型对象中的待添加模型和设备模型树中的目标模型；利用对应于源控件的类型和所述目标控件的类型的校验模块，获取被选择的待添加模型的信息和被选择的目标模型的信息；基于预置的设备建模类型校验准则库，对待添加模型的信息和目标模型的信息进行校验，确定所述待添加模型是否可以在所述设备模型树中作为所述目标模型的子节点；显示指示待添加模型是否可以在所述设备模型树中作为目标模型的子节点的校验结果。本申请实施例具有更好的适用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体设备 建模 方法 装置 | ||
【主权项】：
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