[发明专利]铝钪靶材的制备方法有效
| 申请号： | 202010680008.2 | 申请日： | 2020-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN111910160B | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | 樊玉川;傅臻;刘华;黄美松;李剑;王志坚;文康;周煌;邓月华 | 申请（专利权）人： | 湖南稀土金属材料研究院 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F3/02;B22F3/10 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 袁文婷;张娓娓 |
| 地址： | 410126 湖南省长沙*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明提供一种铝钪靶材的制备方法，包括如下步骤：将金属铝原料和金属钪原料混合熔炼，得到铝钪中间合金；以酒精为介质，将铝钪中间合金进行湿法球磨，通过真空干燥后得到合金粉；将合金粉与金属铝粉混匀，且压制成型，得到铝钪生坯；将铝钪生坯在800℃～1200℃，真空或惰性气氛保护下烧结1h～4h，得到铝钪合金靶坯；按照预设工艺对铝钪合金靶坯进行精加工，得到与预设工艺对应规格的铝钪靶材。利用本发明，能够解决现有技术中的由于高钪含量铝钪合金脆性大，熔炼铸锭后难以后续加工，以及制备得到的靶材成膜均匀性差等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 铝钪靶材 制备 方法 | ||
【主权项】：
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