[发明专利]铝钪靶材的制备方法

权利要求书

1.一种铝钪靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

将金属铝原料和金属钪原料混合熔炼，得到铝钪中间合金；其中，熔炼环境为真空熔炼或惰性气体保护熔炼；

以酒精为介质，将所述铝钪中间合金进行湿法球磨，通过真空干燥后得到合金粉；

将所述合金粉与金属铝粉混匀，且压制成型，得到铝钪生坯；其中，在所述铝钪生坯中，钪元素的质量百分比为45%～92%；

将所述铝钪生坯在800℃～1200℃，真空或惰性气氛保护下烧结1 h～4h，得到铝钪合金靶坯；

按照预设工艺对所述铝钪合金靶坯进行精加工，得到与所述预设工艺对应规格的铝钪靶材。

2.根据权利要求1所述的铝钪靶材的制备方法，其特征在于，

所述金属铝原料的纯度至少为99.99%；和/或，

所述金属钪原料的纯度至少为99.99%。

3.根据权利要求1所述的铝钪靶材的制备方法，其特征在于，

所述铝钪中间合金中钪元素的质量百分比为77%～92%。

4.根据权利要求1所述的铝钪靶材的制备方法，其特征在于，

所述金属铝原料和金属钪原料混合熔炼的方式为悬浮熔炼或中频感应熔炼。

5.根据权利要求1所述的铝钪靶材的制备方法，其特征在于，在以酒精为介质，将所述铝钪中间合金进行湿法球磨，通过真空干燥后得到合金粉的过程中，

所述湿法球磨的时间为0.5 h～3h；

所述合金粉的粒度不超过200μm。

6.根据权利要求1所述的铝钪靶材的制备方法，其特征在于，在将所述合金粉与金属铝粉混匀，且压制成型，得到铝钪生坯的过程中，

将所述合金粉与金属铝粉在混料机中混匀，通过液压机将混匀后的所述合金粉与所述金属铝粉压制成型，得到铝钪生坯；

所述金属铝粉的纯度至少为99.95%，粒度不超过200μm。

7.根据权利要求1所述的铝钪靶材的制备方法，其特征在于，在将所述铝钪生坯在800℃～1200℃，真空或惰性气氛保护下烧结1 h～4h，得到铝钪合金靶坯的过程中，

所述烧结方式为热压烧结、无压烧结、热等静压烧结中的任意一种烧结方式。

8.根据权利要求1所述的铝钪靶材的制备方法，其特征在于，

所述铝钪靶材的纯度＞99.99%；和/或

所述铝钪靶材的致密度≥99.0%；和/或

所述铝钪靶材的成分偏差＜±0.2%；和/或

在所述铝钪靶材中，钪元素的质量百分比为45%～92%。

9.根据权利要求1所述的铝钪靶材的制备方法，其特征在于，对所述铝钪合金靶坯进行精加工的过程依次包括：真空磨抛、车、铣、刨。