[发明专利]真空镀膜装置有效
| 申请号： | 202010676902.2 | 申请日： | 2020-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN111962039B | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 徐文涛;陈晨;李王俊;孙健;周剑;刘亚南 | 申请（专利权）人： | 苏州迈正科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/24 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 刘宁 |
| 地址： | 215200 江苏省苏州市吴江区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种真空镀膜装置，包括真空腔室以及固定于真空腔室的导电机构、多个滚轮机构，真空腔室内具有输送方向，其中：多个滚轮机构沿输送方向阵列分布，每一滚轮机构包括第一驱动单元及滚轮，第一驱动单元具有穿过真空腔室的侧壁的第一输出轴，滚轮安装于第一输出轴位于真空腔室内侧的端部，且具有至少一个环绕第一输出轴的缓冲圈；导电机构包括第二驱动单元、导电部及多个接地带，导电部与第二驱动单元传动连接，具有可与载板相接触的导电面，每一接地带的一端固定于第二驱动单元且与导电部在处于镀膜状态时电连接，另一端固定于真空腔室且与真空腔室在处于镀膜状态时电连接，具有收缩状态和展开状态；载板震动较小，镀膜放电稳定性较好。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州迈正科技有限公司，未经苏州迈正科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010676902.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
