[发明专利]一种硅棒生产用几何尺寸测量装置在审
申请号: | 202010659466.8 | 申请日: | 2017-09-29 |
公开(公告)号: | CN111595389A | 公开(公告)日: | 2020-08-28 |
发明(设计)人: | 吕伟南 | 申请(专利权)人: | 徐发喜 |
主分类号: | G01D21/02 | 分类号: | G01D21/02;G01B11/24 |
代理公司: | 北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙) 11589 | 代理人: | 张铁兰 |
地址: | 湖北省武*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种硅棒生产用几何尺寸测量装置,包括数控箱、金相显微镜、测控装置和集成检测箱,数控箱的顶端嵌入设置有第一显示器,第一显示器的侧面连接有操作按钮,数控箱的前上端设置有第二显示器,该种硅棒生产用含量测试仪,集成检测箱包括激光反馈外形检测、温度与电阻检测和红外线超声波混合三维立体形态成像,将硅棒检测的多步骤进行集合,减少繁杂操作的同时提高整体的检测精度,设有第二显示器,直接连通集成检测器,并将集成检测器检测的各项参数组合解析后,形成三维图像显示出来,通过与第一显示器显示的平面图进行参照,方便检测人员进行调整,使其能够精准的测量出硅棒的各项参数,提高装置的实用性。 | ||
搜索关键词: | 一种 生产 几何 尺寸 测量 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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