[发明专利]一种硅基OLED探针测试装置及其测试方法在审
| 申请号： | 202010656960.9 | 申请日： | 2020-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN111678676A | 公开（公告）日： | 2020-09-18 |
| 发明（设计）人： | 朱平;赵铮涛;曹绪文;刘胜芳;祖伟;任清江;李雪原;宋盖文;许丽华 | 申请（专利权）人： | 安徽熙泰智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01R31/26 |
| 代理公司： | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人： | 张永生 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖市芜湖长江*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅基OLED探针测试装置及其测试方法，其测试装置包括电气柜和设在电气柜上的测试台，所述测试台上设有探针台和位于探针台上方可水平移动的龙门架，所述探针台上设有用于去扎Wafer外围PAD进行全屏点亮的两根探针，所述龙门架的下部对应探针台设有检测相机和光谱仪。使用两根探针扎到外围PAD上给Die供电使Wafer全屏点亮，再使用面阵相机或TDI线阵相机对Wafer全屏进行快速成像分析，无需探卡，可快速测试使得Tact Time较传统自动探针台测试硅基OLED降低76.8％，提高了测试效率，且不会对Bonding PAD造成损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 oled 探针 测试 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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