[发明专利]基于结构光照明显微系统的超薄膜器件三维形貌检测方法有效

专利信息
申请号: 202010655627.6 申请日: 2020-07-09
公开(公告)号: CN111829457B 公开(公告)日: 2022-06-10
发明(设计)人: 杨可君;谢仲业;刘江辉;冯金花;唐燕;赵立新;胡松 申请(专利权)人: 中国科学院光电技术研究所
主分类号: G01B11/25 分类号: G01B11/25;G01B11/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 610209 *** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明公开了一种基于结构光照明显微系统的超薄膜器件三维形貌检测方法。该方法利用等相位变化结构光条纹图案投影在被测物表面,并使用上位机进行z向扫描,用相移法获得条纹调制度随扫描距离的变化曲线,然后通过峰值提取结合非线性拟合的算法,得到精确的峰值位置,进一步计算被测物的膜层厚度与三维形貌。本发明在精确测量超薄膜器件的膜层厚度的同时,也能快速地获得其三维形貌结构,具有非破坏性、高测量效率、高精度、应用范围广等优点。
搜索关键词: 基于 结构 照明 显微 系统 薄膜 器件 三维 形貌 检测 方法
【主权项】:
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