[发明专利]位置测量装置在审
| 申请号： | 202010651930.9 | 申请日： | 2020-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN112197727A | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | T.贝克;J.米特莱特纳;W.普克尔 | 申请（专利权）人： | 约翰内斯·海德汉博士有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/04 | 分类号： | G01B21/04;G01D5/347;B23Q17/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 梁冰;司昆明 |
| 地址： | 德国特劳*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于测量两个物体在进给方向上和在另外的自由度上的相对位置的位置测量装置。为此，承载本体（1）具有至少三个在进给方向上延伸的表面（O1、O2、O3），这些表面中的每一个承载第一测量刻度（T11‑T13）和第二测量刻度（T21‑T23）。第一测量刻度（T11‑T13）和第二测量刻度（T21‑T23）分别具有刻度线的序列，其中第一测量刻度（T11‑T13）的刻度线相对于第二测量刻度（T21‑T23）的刻度线倾斜。为了扫描测量刻度（T11‑T13、T21‑T23），设置有多个扫描单元（A11‑A13、A21‑A23），其相对于测量刻度（T11‑T13、T21‑T26）如此布置，从而产生共同的热中性点（P）。 | ||
| 搜索关键词： | 位置 测量 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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