[发明专利]位置测量装置

权利要求书

1.一种用于测量两个能够相对于彼此运动的物体在进给方向（X）上和在另外的自由度（Y、Z、RX、RY、RZ）上的相对位置的位置测量装置，该位置测量装置具有一个在所述进给方向（X）上纵向延伸的、带有测量刻度（T11-T26）的承载本体（1）并且具有一个能够相对于其运动的、带有多个用于对所述测量刻度（T11-T26）进行扫描的扫描单元（A11-A26）的扫描构件组（2），其特征在于，

所述承载本体（1）的至少三个表面（O1-O4）分别承载第一测量刻度（T11-T16）和第二测量刻度（T21-T26），其中，所述第一测量刻度（T11-T16）和所述第二测量刻度（T21-T26）分别具有刻度线的序列，并且所述第一测量刻度（T11-T16）的刻度线相对于所述第二测量刻度（T21-T26）的刻度线倾斜；用于在扫描位置处扫描相应的测量刻度（T11-T26）的扫描单元（A11-A26）中的至少一个配属于所述第一测量刻度（T11-T16）中的每个和所述第二测量刻度（T21-T26）中的每个，其中，这两个扫描单元（A11-A26）如此布置且这两个测量刻度（T11-T26）的刻度线如此相对于彼此倾斜，使得垂直平面在测量刻度（T11-T26）的相应的刻度线的方向上通过分别配属于所述表面（O1-O4）之一的两个扫描单元（A11-A26）的扫描位置具有共同的相交轴线（S1-S6），并且如此得到的三根相交轴线（S1-S6）延伸穿过共同的点（P）。

2.根据权利要求1所述的位置测量装置，其中，所述承载本体（1）的至少三个表面（O1-O4）和所述测量刻度（T21-T26）和所述扫描单元（A11-A26）如此布置和构造，使得所述扫描构件组（2）相对于所述承载本体（1）的位置能够在六个自由度（X、Y、Z、RX、RY、RZ）中确定。

3.根据权利要求1所述的位置测量装置，其中，所述承载本体（1）是棱柱体，并且至少三个表面（O1-O4）是棱柱体的外周面。

4.根据权利要求3所述的位置测量装置，其中，所述承载本体（1）是平行六面体。

5.根据前述权利要求中任一项所述的位置测量装置，其中，所述共同的点（P）位于所述承载本体（1）的横截面中心。

6.根据前述权利要求中任一项所述的位置测量装置，其中，所述表面（O1-O4）的第一测量刻度（T11-T16）和第二测量刻度（T21-T26）分别彼此相邻地沿着垂直于进给方向（X）的方向布置。

7.根据前述权利要求中任一项所述的位置测量装置，其中，第一测量刻度（T11-T14、T16）的刻度线相对于进给方向（X）偏离0°地倾斜，并且第二测量刻度（T21-T24、T26）的刻度线相对于进给方向（X）同样偏离0°地倾斜。

8.根据权利要求7所述的位置测量装置，其中，所述第一测量刻度（T11-T14、T16）的刻度线和所述第二测量刻度（T21-T24、T26）的刻度线在数值上相对于进给方向（X）倾斜相同的角度。

9.根据权利要求8所述的位置测量装置，其中，所述第一测量刻度（T11-T14、T16）的刻度线相对于进给方向（X）倾斜+45°，并且所述第二测量刻度（T21-T24、T26）的刻度线相对于进给方向（X）倾斜-45°。

10.根据前述权利要求1至7中任一项所述的位置测量装置，其中，所述第一测量刻度（T15）的刻度线相对于进给方向（X）倾斜90°。

11.根据前述权利要求中任一项所述的位置测量装置，其中，所述测量刻度（T11-T26）被构造为能够光学扫描的。

12.根据前述权利要求中任一项所述的位置测量装置，其中，所述测量刻度（T11-T15、T22-T25）是增量刻度。