[发明专利]靶结构和成膜装置在审
| 申请号： | 202010650080.0 | 申请日： | 2020-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN112239852A | 公开（公告）日： | 2021-01-19 |
| 发明（设计）人： | E·N·阿瓦拉 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;刘芃茜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供靶结构和成膜装置。靶结构包括：靶；冷却套，其具有供热交换介质流通的流路；和背板，上述靶与上述冷却套的一个面接合，上述冷却套的另一个面与上述背板在周围部接合，在比上述周围部靠内侧处具有不接合的非接合区域。本发明能够抑制靶的接合部剥离。 | ||
| 搜索关键词： | 结构 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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