[发明专利]靶结构和成膜装置

权利要求书

1.一种靶结构，其特征在于，包括：

靶；

冷却套，其具有供热交换介质流通的流路；和

背板，

所述靶与所述冷却套的一个面接合，

所述冷却套的另一个面与所述背板在周围部接合，在比所述周围部靠内侧处具有不接合的非接合区域。

2.如权利要求1所述的靶结构，其特征在于：

所述周围部是比所述靶的溅射面靠外侧的区域。

3.如权利要求1或2所述的靶结构，其特征在于：

所述冷却套的所述流路形成在比所述周围部靠内侧处。

4.如权利要求1至3中任一项所述的靶结构，其特征在于：

所述冷却套由与所述靶相比热传导性高的材料构成。

5.如权利要求1至4中任一项所述的靶结构，其特征在于：

所述冷却套与所述靶相比更容易因外力而变形。

6.如权利要求1至5中任一项所述的靶结构，其特征在于：

所述背板由与所述冷却套相比刚性高的材料构成。

7.如权利要求1至6中任一项所述的靶结构，其特征在于：

所述靶在该靶的整个背面与所述冷却套的一个面接合。

8.如权利要求1至7中任一项所述的靶结构，其特征在于：

还具有紧固所述靶的紧固部件，

所述紧固部件在所述靶中延伸至所述周围部的凸缘部进行紧固。

9.一种成膜装置，其特征在于：

包括权利要求1至8中任一项所述的靶结构。