[发明专利]一种芯片级谐振式声光耦合固态波动陀螺有效
| 申请号： | 202010648228.7 | 申请日： | 2020-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN112066967B | 公开（公告）日： | 2023-02-14 |
| 发明（设计）人： | 申强;田璐;常洪龙 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | G01C19/5698 | 分类号： | G01C19/5698;G01C19/5776;G01H9/00 |
| 代理公司： | 西安凯多思知识产权代理事务所(普通合伙) 61290 | 代理人： | 云燕春 |
| 地址： | 710072 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明属于微传感器领域，具体涉及一种新型基于MEMS技术的芯片级谐振式声光耦合固态波动陀螺。该陀螺将声表面行波模式敏感结构与谐振式微环谐振腔光学检测结构结合在一起应用于陀螺仪中，利用声光效应将一次声表面波与科氏力导致的二次声表面波振动引起器件晶体的机械应变转换成器件上刻蚀的光波导的折射率变化，使得在该波导中传输的光信号发生衍射，从而产生频率调制，同时利用谐振原理的微谐振腔剥离一次声表面波引入的频率变化，得到包含有外部角速度信息的输出信号。利用谐振式微环谐振腔的品质因数与检测分辨率成比例关系，提高接口检测分辨率的量级，在提升灵敏度、改善分辨率等多个方面同时优化陀螺仪的性能指标，实现其精度的提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 芯片级 谐振 声光 耦合 固态 波动 陀螺 | ||
【主权项】：
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