[发明专利]一种水平驱动的基片预处理装置

摘要

本发明公开了一种水平驱动的基片预处理装置，预处理箱的前后侧壁下部分别成型有左水平导块；工艺箱的前后侧壁下部分别成型有右水平导块；水平传送单元包括左右移动设置在预处理箱的上部的水平传送座和左右移动设置在预处理箱和工艺箱内的基片安置座；基片安置座为开口于朝右设置的“凵”字形状；基片安置座的前后端面分别成型有与左水平导块和右水平导块配合的水平导槽；水平传送座上固定有若干前后均匀分布的限位气缸；限位气缸的活塞杆下端固定有限位插柱；基片安置座的左端和右端分别成型有若干供限位插柱配合的限位插孔。