[发明专利]电阻式随机存取存储器及其制造方法在审
| 申请号： | 202010626425.9 | 申请日： | 2020-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN113889569A | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 许博砚;吴伯伦;郭泽绵 | 申请（专利权）人： | 华邦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00;G11C13/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 王天尧;吴学锋 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 提供一种电阻式随机存取存储器及其制造方法。此电阻式随机存取存储器包含基底、第一介电层、底电极、电阻转换层、氧原子交换层、阻挡层以及顶电极。前述第一介电层设置于基底上。前述底电极设置于第一介电层上。前述电阻转换层设置于底电极上。前述氧原子交换层设置于电阻转换层上，其中氧原子交换层与电阻转换层的接触面积小于电阻转换层的顶面面积。前述阻挡层设置于氧原子交换层上。前述顶电极设置于阻挡层上。 | ||
| 搜索关键词： | 电阻 随机存取存储器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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