[发明专利]一种基于随机两步相移的面形检测方法有效
| 申请号： | 202010618877.2 | 申请日： | 2020-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN111707216B | 公开（公告）日： | 2021-07-02 |
| 发明（设计）人： | 朱学亮;李靓;田爱玲;王红军;刘丙才;万鑫 | 申请（专利权）人： | 西安工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 | 代理人： | 李凤鸣 |
| 地址： | 710032 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种基于随机两步相移的面形检测方法，属于光学检测技术领域，本发明要解决现有技术对测量环境要求苛刻和测量误差大的问题。本发明所提供的技术方案是：随机获取两步相移干涉图，通过随机两步相移算法对这两幅干涉图进行相位解调；对解调后的相位图进行相位解包，并用Zernike多项式进行波面拟合求解待测面形。本发明只需要随机两幅干涉图就可以实现待测面的面形求解，降低了测量系统的复杂性，减少了提取相移量或恢复相位的计算时间，操作简单，测量精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 随机 相移 检测 方法 | ||
【主权项】：
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