[发明专利]微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风有效
| 申请号： | 202010592634.6 | 申请日： | 2020-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN111711904B | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 游振江;佐野豊;林育菁 | 申请（专利权）人： | 歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 王迎;温剑 |
| 地址： | 266000 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供一种微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风，其中的微型麦克风防尘装置包括支撑载体和设置在支撑载体一侧的过滤膜；过滤膜包括固定部以及设置在固定部内部的过滤网；过滤网包括中心部以及环绕中心部设置的分区部；在中心部与分区部的结合处设置有第一连接部、在分区部的边缘设置有使得分区部呈规则多边型分布的边缘部；在相邻设置的两边缘部之间还设置有第二连接部；第一连接部、边缘部和第二连接部的刚度值小于中心部或分区部的刚度值；并且，第一连接部、边缘部和第二连接部配合使得过滤网在垂直方向上呈规则凹凸分布。利用上述发明能够防止过滤膜在加工时受到外力作用极易产生变形而出现不规则褶皱等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 麦克风 防尘 装置 mems | ||
【主权项】：
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