[发明专利]微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风

说明书

本发明提供一种微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风，其中的微型麦克风防尘装置包括支撑载体和设置在支撑载体一侧的过滤膜；过滤膜包括固定部以及设置在固定部内部的过滤网；过滤网包括中心部以及环绕中心部设置的分区部；在中心部与分区部的结合处设置有第一连接部、在分区部的边缘设置有使得分区部呈规则多边型分布的边缘部；在相邻设置的两边缘部之间还设置有第二连接部；第一连接部、边缘部和第二连接部的刚度值小于中心部或分区部的刚度值；并且，第一连接部、边缘部和第二连接部配合使得过滤网在垂直方向上呈规则凹凸分布。利用上述发明能够防止过滤膜在加工时受到外力作用极易产生变形而出现不规则褶皱等问题。

技术领域

本发明涉及电子产品技术领域，更为具体地，涉及一种微型麦克风防尘装置及设置有该微型麦克风防尘装置的MEMS麦克风。

背景技术

现有的MEMS麦克风通常设置有防尘结构，防尘结构主要包括支撑件和防尘膜，通过防尘结构阻止外界粉尘、颗粒等污染物进入麦克风内部，进而确保麦克风产品的声学性能。

但是，由于防尘膜的厚度极薄，而其平面尺寸相对厚度的比值又较大，在加工或使用过程中，受到如热应力等外力作用时极易产生变形而出现不规则的褶皱；此外，在防尘膜加工工艺过程中，热应力是不容易避免的，使得传统的防尘薄膜在封装时容易有褶皱等外观不良现象，影响产品的性能及用户体验。

发明内容

鉴于上述问题，本发明的目的是提供一种微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风，以解决目前防尘膜容易受到外力作用而出现不规则褶皱，导致其防尘性能差等问题。

本发明提供的包括支撑载体和设置在支撑载体一侧的过滤膜；过滤膜包括固定部以及设置在固定部内部的过滤网；过滤网包括中心部以及环绕中心部设置的分区部；在中心部与分区部的结合处设置有第一连接部、在分区部的边缘设置有使得分区部呈规则多边型分布的边缘部；在相邻设置的两边缘部之间还设置有第二连接部；第一连接部、边缘部和第二连接部的刚度值小于中心部或分区部的刚度值；并且，第一连接部、边缘部和第二连接部配合使得过滤网在垂直方向上呈规则凹凸分布。

此外，优选的技术方案是，边缘部的长度大于第二连接部的长度。

此外，优选的技术方案是，第二连接部与相邻设置的两分布区之间形成周围分区；第二连接部为折线形或者弧形结构，使得周围分区的形状呈具有至少三个边的多边形和/或由线和/或弧包围而成的封闭区域。

此外，优选的技术方案是，在过滤网上设置有规则分布的穿孔；通过改变穿孔在第一连接部、边缘部、第二连接部、中心部、分区部以及周围分区处的形状及密度以调节第一连接部、边缘部、第二连接部、中心部及、分区部及周围分区的刚度值。

此外，优选的技术方案是，在周围分区内设置有调节部；调节部包括至少一个边，调节部将周围分区划分为至少两个封闭区域。

此外，优选的技术方案是，穿孔的宽度范围为0.1μm～10μm。

此外，优选的技术方案是，第一连接部、第二连接部、边缘部处的相邻两穿孔之间相互交错分布。

此外，优选的技术方案是，第一连接部呈环形或者具有至少四个边的多边形结构。

此外，优选的技术方案是，中心部设置在过滤膜的几何中心处。

此外，优选的技术方案是，分区部为具有至少三个边的多边形结构；过滤网形成具有至少两个边长度不同的凹多边形结构、弧形结构或者凸多边形结构。

此外，优选的技术方案是，第一连接部、边缘部和第二连接部分别具有不同的刚度值。

根据本发明的另一方面，提供一种MEMS麦克风，包括上述的微型麦克风防尘装置；其中，微型麦克风防尘装置设置在MEMS麦克风的声孔处；或者，微型麦克风防尘装置设置在MEMS麦克风的芯片处。