[发明专利]测量装置、光刻装置和制造物品的方法在审
| 申请号： | 202010592420.9 | 申请日： | 2020-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN112130430A | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 古卷贵光;中村忠央 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/00;G01B11/00 |
| 代理公司： | 北京怡丰知识产权代理有限公司 11293 | 代理人： | 迟军;高华丽 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种测量装置、光刻装置和制造物品的方法。所述测量装置测量包括第一标记和第二标记的被检体的位置，并且包括：摄像单元，其被构造为在视场中包含第一标记和第二标记的状态下拍摄第一标记和第二标记；以及偏振元件，其被构造为在入射到摄像单元上的来自第一标记的光和来自第二标记的光中产生彼此不同的偏振方向。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 装置 光刻 制造 物品 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佳能株式会社，未经佳能株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010592420.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：车辆的冷却装置
- 下一篇：具有低输出焊盘电容的混合驱动器
