[发明专利]一种半球状微透镜及其制备方法

摘要

本发明公开了一种半球状微透镜及其制备方法，该透镜包括至少一个透镜镜体（2），所述透镜镜体(2)为：选定标准微球透镜(2′)一个经过球心的面，在所述经过球心的面的两侧分别平行切割掉部分球面。制备方法分别在标准的微球透镜两侧平行切割掉部分球面，随后浸泡在第二材料膜层(4)内，当平行于光轴的入射光从半球状微透镜被部分切割的球面测入射时，通过被切割的球面的光线将不参与形成光斑，这有益于改善光斑的半高宽；通过未被切割的球面的光线因离光轴更远，形成具有更长工作距的焦斑，可应用在远场平行成像/光刻方面，提高特征尺寸接近或大于300nm的图案平行成像/光刻的效率。