[发明专利]一种基于音叉驱动效应的高精度水平轴硅微陀螺仪有效
| 申请号： | 202010581794.0 | 申请日： | 2020-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN111780737B | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 刘国文;高乃坤;徐杰;张乐民;王健鹏;刘福民 | 申请（专利权）人： | 北京航天控制仪器研究所 |
| 主分类号： | G01C19/5621 | 分类号： | G01C19/5621;G01C19/5614;G01C19/5726;G01C19/5733;G01C19/56 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 高志瑞 |
| 地址： | 100854 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于音叉驱动效应的高精度水平轴硅微陀螺仪，包括：包括盖帽层、陀螺仪敏感结构和衬底层；其中，盖帽层和衬底层相连接组成内部真空结构，陀螺仪敏感结构设置于内部真空结构；陀螺敏感结构包括第一驱动梳齿组、第二驱动梳齿组、第三驱动梳齿组、第四驱动梳齿组、第一驱动检测梳齿、第二驱动检测梳齿、第三驱动检测梳齿、第四驱动检测梳齿、第一驱动弹性梁组、第二驱动弹性梁组、第一检测弹性梁组、第二检测弹性梁组、锚区组、第一质量块、第二质量块、耦合弹性梁、第一驱动框架和第二驱动框架。本发明实现了俯仰和滚动角速率的测量，并减小了惯性测量单元的体积。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 音叉 驱动 效应 高精度 水平 轴硅微 陀螺仪 | ||
【主权项】：
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