[发明专利]一种基于音叉驱动效应的高精度水平轴硅微陀螺仪

权利要求书

1.一种基于音叉驱动效应的高精度水平轴硅微陀螺仪，其特征在于包括：包括盖帽层(17)、陀螺仪敏感结构(18)和衬底层(19)；其中，

所述盖帽层(17)和所述衬底层(19)相连接组成内部真空结构，所述陀螺仪敏感结构(18)设置于所述内部真空结构；

所述陀螺敏仪 感结构(18)包括第一驱动梳齿组(1)、第二驱动梳齿组(2)、第三驱动梳齿组(3)、第四驱动梳齿组(4)、第一驱动检测梳齿(5)、第二驱动检测梳齿(6)、第三驱动检测梳齿(7)、第四驱动检测梳齿(8)、第一驱动弹性梁组(91)、第二驱动弹性梁组(92)、第一检测弹性梁组(101)、第二检测弹性梁组(102)、锚区组(11)、第一质量块(12)、第二质量块(13)、耦合弹性梁(14)、第一驱动框架(151)和第二驱动框架(152)；其中，

所述第一驱动梳齿组(1)和所述第一驱动检测梳齿(5)均设置于所述第一驱动框架(151)的第一一侧壁(1511)；所述第二驱动梳齿组(2)和所述第二驱动检测梳齿(6)均设置于所述第一驱动框架(151)的第一二侧壁(1512)；其中，第一一侧壁(1511)和第一二侧壁(1512)相对；

所述第三驱动梳齿组(3)和所述第三驱动检测梳齿(7)均设置于所述第二驱动框架(152)的第二一侧壁(1521)；所述第四驱动梳齿组(4)和所述第四驱动检测梳齿(8)均设置于所述第二驱动框架(152)的第二二侧壁(1522)；其中，第二一侧壁(1521)与第二二侧壁(1522)相对；

所述第一驱动弹性梁组(91)的一端与所述锚区组(11)相连接，所述第一驱动弹性梁组(91)的另一端与第一驱动框架(151)相连接；

所述第二驱动弹性梁组(92)的一端与所述锚区组(11)相连接，所述第二驱动弹性梁组(92)的另一端与第二驱动框架(152)相连接；

所述第一质量块(12)设置于所述第一驱动框架(151)的内部，所述第二质量块(13)设置于所述第二驱动框架(152)的内部；

所述第一检测弹性梁组(101)的一端与所述第一驱动框架(151)相连接，所述第一检测弹性梁组(101)的另一端与所述第一质量块(12)相连接；

所述第二检测弹性梁组(102)的一端与所述第二驱动框架(152)相连接，所述第二检测弹性梁组(102)的另一端与所述第二质量块(13)相连接；

所述第一驱动框架(151)通过所述耦合弹性梁(14)和所述第二驱动框架(152)相连接；

所述第一质量块(12)和所述第二质量块(13)关于所述耦合弹性梁(14)的中心线对称；

所述衬底层(19)的上表面设置有第一金属电极板(211)和第二金属电极板(212)，所述第一金属电极板(211)与所述第一质量块(12)的下表面形成检测电容，所述第二金属电极板(212)与所述第二质量块(13)的下表面形成检测电容；

所述第一驱动弹性梁组(91)包括第一一驱动弹性梁(911)、第一二驱动弹性梁(912)、第一三驱动弹性梁(913)和第一四驱动弹性梁(914)；

所述锚区组(11)包括第一锚区(111)、第二锚区(112)、第三锚区(113)、第四锚区(114)、第五锚区(115)和第六锚区(116)；

所述第一一驱动弹性梁(911)的一端与第一锚区(111)相连接，所述第一一驱动弹性梁(911)的另一端与第一驱动框架(151)的左上角点相连接；

所述第一二驱动弹性梁(912)的一端与第二锚区(112)相连接，所述第一二驱动弹性梁(912)的另一端与第一驱动框架(151)的右上角点相连接；

所述第一三驱动弹性梁(913)的一端与第三锚区(113)相连接，所述第一三驱动弹性梁(913)的另一端与第一驱动框架(151)的左下角点相连接；

所述第一四驱动弹性梁(914)的一端与第四锚区(114)相连接，所述第一四驱动弹性梁(914)的另一端与第一驱动框架(151)的右下角点相连接；

所述第二驱动弹性梁组(92)包括第二一驱动弹性梁(921)、第二二驱动弹性梁(922)、第二三驱动弹性梁(923)和第二四驱动弹性梁(924)；

所述第二一驱动弹性梁(921)的一端与第二锚区(112)相连接，所述第二一驱动弹性梁(921)的另一端与第二驱动框架(152)的左上角点相连接；

所述第二二驱动弹性梁(922)的一端与第五锚区(115)相连接，所述第二二驱动弹性梁(922)的另一端与第二驱动框架(152)的右上角点相连接；

所述第二三驱动弹性梁(923)的一端与第四锚区(114)相连接，所述第二三驱动弹性梁(923)的另一端与第二驱动框架(152)的左下角点相连接；

所述第二四驱动弹性梁(924)的一端与第六锚区(116)相连接，所述第二四驱动弹性梁(924)的另一端与第二驱动框架(152)的右下角点相连接；

所述第一检测弹性梁组(101)包括第一一检测弹性梁(1011)、第一二检测弹性梁(1012)、第一三检测弹性梁(1013)和第一四检测弹性梁(1014)；其中，

所述第一一检测弹性梁(1011)的一端与所述第一驱动框架(151)的第一一侧壁(1511)相连接，所述第一一检测弹性梁(1011)的另一端与所述第一质量块(12)相连接；

所述第一二检测弹性梁(1012)的一端与所述第一驱动框架(151)的第一二侧壁(1512)相连接，所述第一二检测弹性梁(1012)的另一端与所述第一质量块(12)相连接；

所述第一三检测弹性梁(1013)的一端与所述第一驱动框架(151)的第一三侧壁(1513)相连接，所述第一三检测弹性梁(1013)的另一端与所述第一质量块(12)相连接；

所述第一四检测弹性梁(1014)的一端与所述第一驱动框架(151)的第一四侧壁(1514)相连接，所述第一四检测弹性梁(1014)的另一端与所述第一质量块(12)相连接。