[发明专利]一种氢气传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202010577466.3 | 申请日： | 2020-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN111638252A | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 谢波;丁伯胜;王一涛 | 申请（专利权）人： | 浙江固微科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12;C23C14/35;C23C14/14;B22F1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种氢气传感器及其制备方法，包括氢气气敏膜、导电电极和绝缘衬底，所述氢气气敏膜附着于绝缘衬底表面，通过导电电极测量氢气气敏膜的电阻或导电值，所述氢气气敏膜包括至少一层钯基纳米粒子组装薄膜和至少一层金属有机物框架涂层，所述金属有机物框架涂层将钯基纳米粒子组装薄膜完全包裹。本发明中金属有机物框架涂层材料的多孔结构使其能在一定程度上隔离较大尺寸的气体分子，提高氢气气敏的选择性。此外，由于金属有机物框架材料对钯或合金粒子之间的表面修饰作用，还能提高纳米粒子气敏膜对氢气的响应值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氢气 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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