[发明专利]碳化硅籽晶和碳化硅籽晶组件有效
| 申请号： | 202010576175.2 | 申请日： | 2020-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN113897685B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 蔡凯;郭少聪;王军;周维 | 申请（专利权）人： | 比亚迪股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/18 | 分类号： | C23C14/18;C23C14/58;C30B35/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 王佳璐 |
| 地址： | 518118 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了碳化硅籽晶和碳化硅籽晶组件，该碳化硅籽晶包括：碳化硅籽晶本体；碳化硅过渡层，所述碳化硅过渡层覆盖在所述碳化硅籽晶本体的背面上；碳层，所述碳层覆盖在所述碳化硅过渡层远离所述碳化硅籽晶本体的表面上。该碳化硅籽晶可以有效避免背面蒸发问题，提高生长晶体的质量的同时，相邻两层之间的结合力强，脱落风险显著降低。 | ||
| 搜索关键词： | 碳化硅 籽晶 组件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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