[发明专利]量测装置及量测方法有效
| 申请号: | 202010545961.6 | 申请日: | 2020-06-16 |
| 公开(公告)号: | CN111805301B | 公开(公告)日: | 2022-06-10 |
| 发明(设计)人: | 孙正一;陈昶升;杨勇;曹伟涛;谢松臻 | 申请(专利权)人: | 深圳市裕展精密科技有限公司 |
| 主分类号: | B23Q17/00 | 分类号: | B23Q17/00 |
| 代理公司: | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人: | 陈敬华 |
| 地址: | 518109 广东省深圳市观澜富士康鸿观科技园B区厂*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 一种量测装置,用于校正第一量测机的量测误差,量测装置包括通信器和处理器。通信器用于接收来自第一量测机检测工件形成的第一检测集,还用于接收来自第二量测机检测工件形成的第二检测集。第二量测机的精度高于所述第一量测机的精度,由此可通过第二量测机的量测值校正第一量测机的量测误差。处理器与通信器耦接,处理器用于对第一检测集进行数据清洗,根据数据清洗后的第一检测集与第二检测集,形成校正值。通信器还用于将校正值反馈至所述第一量测机,以校正形成所述第一检测集时的误差。本发明同时提出一种量测方法。 | ||
| 搜索关键词: | 装置 方法 | ||
【主权项】:
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