[发明专利]一种自润滑超硬涂层及其制备方法

摘要

本发明公开了一种自润滑超硬涂层及其制备方法，属于涂层技术领域，该涂层包括包括设置在工具基体表面的四层结构，四层结构从内到外依次是Cr结合层、CrN过渡层、AlCrN支撑层和AlCrN/MoxC自润滑耐磨层。该涂层的制备方法为：通过工具基体（1）前处理和加热；等离子清洗；离子蒸镀沉积Cr结合层（2）；离子蒸镀技术沉积CrN过渡层（3）；双极高能脉冲磁控溅射沉积AlCrN支撑层（4）和AlCrN/MoxC自润滑耐磨层（5）。本发明涂层摩擦系数低，硬度高，涂层结构可保证摩擦磨损初期和后期的自润滑效应，在摩擦初期，涂层表面形成游离石墨相，起到自润滑作用，随着摩擦的进行，摩擦界面温度提高，石墨相失去作用，MoO3相形成，接替石墨相，继续实现自润滑效应。