[发明专利]一种金属氟化物捕获器及准分子激光器在审
申请号: | 202010535285.4 | 申请日: | 2020-06-12 |
公开(公告)号: | CN113797667A | 公开(公告)日: | 2021-12-17 |
发明(设计)人: | 陈文斌;刘斌;丁金滨;江锐;冯泽斌 | 申请(专利权)人: | 北京科益虹源光电技术有限公司 |
主分类号: | B01D46/24 | 分类号: | B01D46/24;B01D46/00;H01S3/034 |
代理公司: | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人: | 魏毅宏 |
地址: | 100000 北京市大兴区经济*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及激光技术领域,具体涉及一种金属氟化物捕获器及准分子激光器,包括:缸体、管束支撑板一、管束支撑板二、除尘管、过滤介质结构;若干除尘管的两端由管束支撑板一、管束支撑板二支撑固定后安装在缸体内,除尘管的两端穿设管束支撑板一、管束支撑板二,管束支撑板一、管束支撑板二与缸体密封设置,若干除尘管组成除尘管束,除尘管束上包覆有过滤介质结构,除尘管上开设有除尘管进气口,缸体上开设有进气口;携带带电金属氟化物颗粒的气流由缸体的进气口进入,经过过滤介质结构的过滤、经由除尘管进气口通过除尘管过滤后,在除尘管的两端口排出,由过滤介质结构及除尘管双重过滤,显著提高金属氟化物捕获器的金属氟化物过滤能力。 | ||
搜索关键词: | 一种 金属 氟化物 捕获 准分子激光 | ||
【主权项】:
暂无信息
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