[发明专利]数字化曝光控制方法及装置在审
| 申请号： | 202010524964.1 | 申请日： | 2020-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN113777888A | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 栾兴龙;李付强;冯京;王志冲;刘鹏;袁广才;董学 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 蒋冬梅;曲鹏 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种数字化曝光控制方法，包括：通过一次或多次整版扫描实现对待曝光基板的不同类型功能区的曝光，其中，针对待曝光基板的不同类型功能区的扫描速度不同。本公开提供的数字化曝光控制方法，可以提高数字化曝光产品的良率和产能。 | ||
| 搜索关键词： | 数字化 曝光 控制 方法 装置 | ||
【主权项】：
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