[发明专利]可改变结构的等离子体源线圈及其调整方法在审
| 申请号： | 202010519821.1 | 申请日： | 2020-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN113782409A | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 催佑荧;李相雨 | 申请（专利权）人： | 自适应等离子体技术公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H05H1/46;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 崔龙铉;太香花 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种可改变结构的等离子体源线圈及其调整方法。可改变结构的等离子体源线圈包括基于中心部位(CP)以螺旋形状延伸的多个线圈分支(11_1至12_M)，并且可以调节至少一个线圈分支(11_1至12_M)的延伸方向或延伸方向上的倾斜度。 | ||
| 搜索关键词： | 改变 结构 等离子体 线圈 及其 调整 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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