[发明专利]一种薄膜晶体管、阵列基板、显示面板及显示装置在审

专利信息
申请号: 202010512866.6 申请日: 2020-06-08
公开(公告)号: CN111628005A 公开(公告)日: 2020-09-04
发明(设计)人: 苏同上;成军;王庆贺;黄勇潮;王海涛;杜生平;闫梁臣 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司
主分类号: H01L29/786 分类号: H01L29/786;H01L29/06;H01L27/12
代理公司: 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 代理人: 李娜
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供了一种薄膜晶体管、阵列基板、显示面板及显示装置,涉及显示技术领域。其中,薄膜晶体管包括有源层、层间绝缘层和金属电极层,有源层包括导体化区域,层间绝缘层位于导体化区域与金属电极层之间的部分设有过孔,在导体化区域宽度方向上,和/或垂直于宽度方向的导体化区域长度方向上,过孔在导体化区域上的正投影至少覆盖导体化区域的2/3。本发明中,由于过孔孔径越大,过孔处接触电阻越小,因此,过孔在导体化区域上的正投影至少覆盖导体化区域的2/3,可以保证过孔与导体化区域有足够大的接触面积,如此,通过增大层间绝缘层上过孔的孔径,可以减小过孔处接触电阻,进而降低薄膜晶体管过孔的RC Delay效应。
搜索关键词: 一种 薄膜晶体管 阵列 显示 面板 显示装置
【主权项】:
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