[发明专利]一种薄膜晶体管、阵列基板、显示面板及显示装置在审
申请号: | 202010512866.6 | 申请日: | 2020-06-08 |
公开(公告)号: | CN111628005A | 公开(公告)日: | 2020-09-04 |
发明(设计)人: | 苏同上;成军;王庆贺;黄勇潮;王海涛;杜生平;闫梁臣 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;H01L29/06;H01L27/12 |
代理公司: | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人: | 李娜 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种薄膜晶体管、阵列基板、显示面板及显示装置,涉及显示技术领域。其中,薄膜晶体管包括有源层、层间绝缘层和金属电极层,有源层包括导体化区域,层间绝缘层位于导体化区域与金属电极层之间的部分设有过孔,在导体化区域宽度方向上,和/或垂直于宽度方向的导体化区域长度方向上,过孔在导体化区域上的正投影至少覆盖导体化区域的2/3。本发明中,由于过孔孔径越大,过孔处接触电阻越小,因此,过孔在导体化区域上的正投影至少覆盖导体化区域的2/3,可以保证过孔与导体化区域有足够大的接触面积,如此,通过增大层间绝缘层上过孔的孔径,可以减小过孔处接触电阻,进而降低薄膜晶体管过孔的RC Delay效应。 | ||
搜索关键词: | 一种 薄膜晶体管 阵列 显示 面板 显示装置 | ||
【主权项】:
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