[发明专利]一种成分均匀的铝钪合金溅射靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 202010511694.0 | 申请日： | 2020-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN111636055A | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 蔡小勇;张科;吴荣祯;侯庆龙;安子顺;张梦兰 | 申请（专利权）人： | 福建阿石创新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/06;B22F3/14;B22F9/04 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 代芳 |
| 地址： | 350200 福建省福州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种成分均匀的铝钪合金溅射靶材及其制备方法，涉及靶材制备技术领域。本发明在惰性气氛保护下，将纯度≥99.99％的钪锭和铝锭进行机械粉碎和气流粉碎，得到极细铝和极细钪的混合粉末颗粒；极细铝和极细钪的粒径独立为1～50μm，极细钪的质量占混合粉末颗粒质量的1～60％；将混合粉末颗粒在惰性气氛保护下预压成型，再进行真空热压烧结，得到铝钪合金溅射靶材。本发明在惰性保护气氛下采用机械粉碎和气流粉碎的方法获得极细铝和极细钪颗粒，具有纯度高、含氧量低、颗粒尺寸小的特点，以此颗粒来制备铝钪合金溅射靶材，能够提高合金组织均匀性和纯度，得到成分均匀且高纯度的铝钪合金溅射靶材，并且过程简单、成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 成分 均匀 合金 溅射 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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