[发明专利]使用带电粒子显微镜检查样品的方法

摘要

本发明涉及一种使用带电粒子显微镜检查样品的方法，其包含以下步骤：提供带电粒子射束以及样品；在多个样品位置处使所述带电粒子射束在所述样品上扫描；和响应于在所述多个样品位置上扫描的所述射束，使用第一检测器检测来自所述样品的第一类型的发射。检测到的所述第一类型的发射的光谱信息用来在所述多个样品位置处将多个互不相同的相位分配给所述样品。与至少一个先前分配的相位及其相应的样品位置有关的信息用于为所述多个样品位置中的至少另一个样品位置建立估计相位。所述估计相位被分配给所述另外的样品位置。控制单元用来提供所述样品的数据表示，所述数据表示至少含有关于所述多个样品位置和所述相位的信息。