[发明专利]一种在LTCC基板高平整表面上高精密微细线条的制作方法有效
| 申请号： | 202010439864.9 | 申请日： | 2020-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN111683459B | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 杨宇;岳帅旗;束平;徐洋;黄翠英;张刚 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第二十九研究所 |
| 主分类号： | H05K3/00 | 分类号： | H05K3/00;H05K3/02;H05K3/26 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 管高峰 |
| 地址： | 610036 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种在LTCC基板高平整表面上高精密微细线条的制作方法，包括以下过程：步骤1、将烧结后的多层LTCC电路基板表面磨平；步骤2、在磨平后的基板表面上制作导体图形；步骤3、对导体图形进行精密修饰，获得高精度微细线条；步骤4、对精密修饰后的基板进行后处理，消除高精度微细线条的边缘熔渣。采用本发明中的方法制作LTCC表面高精度微细线条，能够获得较高的表面平整度，导体图形布置灵活，线条细度小，精度高，边缘平滑，对材料体系有较强的兼容性，所需设备及工艺均较为成熟。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ltcc 基板高 平整 表面上 精密 微细 线条 制作方法 | ||
【主权项】：
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