[发明专利]一种巨量转移方法和装置有效

专利信息
申请号: 202010434622.0 申请日: 2020-05-21
公开(公告)号: CN112967969B 公开(公告)日: 2022-03-01
发明(设计)人: 李欣曈;洪温振 申请(专利权)人: 重庆康佳光电技术研究院有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L33/48
代理公司: 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 代理人: 温宏梅;徐凯凯
地址: 402760 重庆市璧*** 国省代码: 重庆;50
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摘要: 发明公开了一种巨量转移方法和装置,所述巨量转移方法包括如下步骤:提供一粘贴有接收基板的第一传动机构和铺设有生长基板的第二传动机构,所述生长基板上生长有微元件;让所述接收基板通过所述第一传动机构由初始位置位移至目标位置;让所述第一传动机构与所述第二传动机构发生相对挤压,将所述位于生长基板上的的微元件转移至所述接收基板上。通过本发明所述巨量转移方法,可以实现直接将微元件从生长基板转移至接收基板上,而不需要将微元件转移至暂态基板,简化了微元件制作的流程工艺;且微元件直接贴附于接收基板上,不需要和胶材接触,降低了转移风险,提高了微元件的产品良率。
搜索关键词: 一种 巨量 转移 方法 装置
【主权项】:
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