[发明专利]集成器件制造方法及相关产品有效
| 申请号： | 202010427701.9 | 申请日： | 2019-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN111682860B | 公开（公告）日： | 2023-10-10 |
| 发明（设计）人： | 樊永辉 | 申请（专利权）人： | 深圳市汇芯通信技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/17;H03H9/54 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 熊永强 |
| 地址： | 518035 广东省深圳市福田区华富街道莲*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请实施例公开了一种集成器件制造方法及相关产品，包括：提供用于制造集成器件的第一外延层、第二外延层和初始晶圆；针对第一外延层、第二外延层执行预设的器件正面(“Frontside”)制造工艺，形成滤波器和功率放大器正面组件；针对滤波器、功率放大器和初始晶圆执行晶圆键合，并完成背面(“Backside”)工艺以得到完整的集成器件；本申请实施例通过将滤波器和功率发大器集成在同一个芯片上，可以减小器件的尺寸，降低制造成本，提高器件的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 器件 制造 方法 相关 产品 | ||
【主权项】：
暂无信息
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