[发明专利]一种优化氮化镓雪崩探测器n型层厚度的方法有效

专利信息
申请号: 202010426031.9 申请日: 2020-05-19
公开(公告)号: CN111651714B 公开(公告)日: 2023-02-28
发明(设计)人: 王晓东;陈雨璐;王兵兵;张传胜;童武林;胡永山;张晧星;张伟;陈栋 申请(专利权)人: 上海微波技术研究所(中国电子科技集团公司第五十研究所)
主分类号: G06F17/12 分类号: G06F17/12;H01L31/18
代理公司: 上海段和段律师事务所 31334 代理人: 李慧;郭国中
地址: 200063 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供一种优化氮化镓雪崩探测器n型层厚度的方法,包括如下步骤:获取氮化镓雪崩探测器物理模型的参数,构建其数值模型;根据数值模型获取固定p电极偏压UF下的光谱响应率RS随入射波长λ变化的曲线;获得不同n型层厚度hn所对应的光谱响应率曲线;分别获取固定窗口区波长λ1与固定短波区波长λ2对应的光谱响应率RS随n型层厚度hn变化的曲线;获取拟合固定p电极偏压UF下的光谱抑制比Rr随n型层厚度hn变化的曲线的函数式;获取拟合探测器缺陷密度Dd随n型层厚度hn变化的曲线的函数式;根据所得函数式比值获取最佳n型层厚度。本发明优点在于对于不同结构和不同工艺的氮化镓雪崩探测器均可提取出最佳n型层厚度。
搜索关键词: 一种 优化 氮化 雪崩 探测器 厚度 方法
【主权项】:
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