[发明专利]一种大口径光学成像级聚酰亚胺薄膜制备方法

摘要

本发明提供了一种大口径光学成像级聚酰亚胺薄膜制备方法，为了提高大口径薄膜厚度均匀性减小波前误差，达到薄膜衍射系统要求的成像质量，通过预先给胶液施加一环向均匀、径向呈梯度分布的温度来调控其粘度，从而控制胶液径向厚度分布，经控温/常温叠加多次旋涂，直至得到所需厚度的聚酰亚胺薄膜，薄膜厚度≥20μm，薄膜口径≥Φ400mm，薄膜透射波前RMS≤1/25λ，满足系统成像质量要求。本发明有益的技术效果：缩小了与国外差距，提高薄膜元件制作工艺水平，扩展我国薄膜元件的实际应用领域，特别是透明光学薄膜衍射成像系统领域。