[发明专利]通孔式石墨烯/PMMA异质结构压力传感器及制备方法在审
| 申请号： | 202010403778.2 | 申请日： | 2020-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN111551293A | 公开（公告）日： | 2020-08-18 |
| 发明（设计）人： | 张勇;刘瑛;刘冠军;林鑫;邱静;吕克洪;杨鹏;程先哲;王贵山 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科技大学 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18;G01L1/22 |
| 代理公司： | 国防科技大学专利服务中心 43202 | 代理人： | 王文惠 |
| 地址： | 410073 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种通孔式石墨烯/聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)异质结构压力传感器及制备方法，传感器由硅/二氧化硅衬底层、石墨烯/PMMA异质结构压力感应层、电极、外壳组成。硅/二氧化硅衬底层上刻蚀有通孔或通孔阵列；石墨烯/PMMA异质结构压力感应层采用石墨烯和PMMA两种材料制备，附着在硅/二氧化硅衬底层上表面的通孔上方，PMMA能保护石墨烯薄膜，减少石墨烯薄膜在工艺过程及传感器使用过程中破损情况；本发明使用通孔结构消除空腔气体状态变化的影响，提高压力传感器的灵敏度。本发明提供的石墨烯/PMMA异质结构压力传感器成品率高、灵敏度较高、稳定性好、制作成本低、工艺简单、过程可控，可用于大气压力感知等。 | ||
| 搜索关键词： | 通孔式 石墨 pmma 结构 压力传感器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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