[发明专利]硅片绒面的测试方法、装置、电子设备及可读存储介质在审
| 申请号： | 202010403331.5 | 申请日： | 2020-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN113686261A | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 姚远洲;吴华德;吴坚 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G06T7/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 215129 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种硅片绒面的测试方法、装置、电子设备及可读存储介质，该测试方法包括：获取制绒后硅片的制绒表面显微图像，并对制绒表面显微图像进行图像处理以得到制绒表面灰度图像；从制绒表面灰度图像中提取出单个绒面的绒面形状参数；统计处理绒面的绒面形状参数，确定得到制绒后硅片的绒面质量参数。本发明实施例，能够准确统计硅片绒面信息，量化统计硅片绒面情况，以此可以有效分析硅片绒面质量。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 测试 方法 装置 电子设备 可读 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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