[发明专利]一种菲涅尔波带片的设计方法、制作方法和设计装置有效
| 申请号： | 202010374021.5 | 申请日： | 2020-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN113625379B | 公开（公告）日： | 2023-09-26 |
| 发明（设计）人： | 高雅增;卢维尔;文庆涛;夏洋;李楠;赵丽莉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G02B27/00 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及光学器件技术领域，具体涉及一种菲涅尔波带片的设计方法、制作方法和设计装置。该方法包括：对菲涅尔波带片进行结构建模，获得菲涅尔波带片模型；计算菲涅尔波带片模型在空间内的第一光强分布；确定焦点中心位置；获得菲涅尔波带片模型的衍射效率；判断菲涅尔波带片模型的衍射效率是否满足设计要求；若否，则更新设定结构参数，并重复以上步骤；若是，则将设定结构参数作为优化后的设定结构参数。本发明创新地使用时域有限差分法来搭建真实的菲涅尔波带片模型，模拟出真实的菲涅尔波带片的工作环境，从而仿真出菲涅尔波带片的缺陷对其衍射现象的影响，通过反复的参数调整更新，进而获得了符合设计要求的菲涅耳波带片。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 菲涅尔 波带片 设计 方法 制作方法 装置 | ||
【主权项】：
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