[发明专利]测试设备在审
| 申请号： | 202010371596.1 | 申请日： | 2020-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN111965517A | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 阿基·朱内斯;阿里·库卡拉;蒂莫·萨尔米宁;维萨·亨通宁;马蒂·曼宁;大卫·贡纳森;莱夫·罗斯切尔 | 申请（专利权）人： | 艾伏有限公司;布鲁弗斯低温学有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;吴启超 |
| 地址： | 芬兰*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于对晶圆(102)上的集成电路进行电气测试的测试设备(100)。所述测试设备(100)包括：真空腔室(109)；卡盘(101)，所述卡盘(101)用于保持所述晶圆(102)；探针卡(103)，所述探针卡(103)用于电气接触所述集成电路；以及辐射屏蔽件(107)，所述辐射屏蔽件(107)布置在所述真空腔室(109)内侧并且包封所述卡盘(101)和所述探针卡(103)。在所述测试设备(100)中，所述真空腔室(109)设置有闸门阀(123)，所述辐射屏蔽件(107)设置有舱门(122)，并且所述测试设备(100)包括晶圆加载组件(125)，所述晶圆加载组件(125)用于通过所述闸门阀(123)和所述舱门(122)将所述晶圆(102)加载到所述卡盘(101)上。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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