[发明专利]流体感测设备和质量流量控制器在审
| 申请号： | 202010347908.5 | 申请日： | 2020-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN111854868A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | V·塔纳里;D·阿祖尼;M·迪亚兹;J·迪迪奥 | 申请（专利权）人： | FAS医学有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/88 | 分类号： | G01F1/88;G01F15/02;G01F15/04;G01F15/14;G01F15/00;G05D7/06 |
| 代理公司： | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人： | 郁旦蓉 |
| 地址： | 瑞士帕*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 包括流体流动通道的流体感测设备和质量流量控制器。该流体流动通道具有限流部分、该限流部分上游的第一位置处的第一流体端口、该限流部分下游的第二位置处的第二流体端口、与该第一流体端口和第二流体端口流体连通的流体传感器以及层流元件。该层流元件包含沿着该流体流动通道至少从该第一位置延伸到该第二位置的流稳定杆，以在该流体流动通道的外壁与该流稳定杆的外表面之间限定该流体流动通道的流体感测部分。该限流部分包括减小该流体流动通道的该流体感测部分的液压直径，这通过减小该流体流动通道的直径或增大该流稳定杆的直径或既减小该流体流动通道的直径又增大该流稳定杆的直径来实现。还提供包含此类流体感测设备的质量流量控制器。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 设备 质量 流量 控制器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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