[发明专利]流体感测设备和质量流量控制器

权利要求书

1.一种流体感测设备，其包括：

流体流动通道，其具有入口和出口；

限流部分，其位于所述入口与所述出口之间；

第一流体端口，其处于所述限流部分上游的所述流体流动通道的第一位置处；

第二流体端口，其处于所述限流部分下游的所述流体流动通道的第二位置处；

流体传感器，其与所述第一流体端口和第二流体端口流体连通；以及

层流元件，其包括沿着所述流体流动通道至少从所述第一位置延伸到所述第二位置的流稳定杆，以在所述流体流动通道的外壁与所述流稳定杆的外表面之间和所述第一位置和第二位置之间限定所述流体流动通道的流体感测部分，

其中所述限流部分包括减小所述流体流动通道的所述流体感测部分的液压直径，这通过减小所述流体流动通道的横截面积和/或通过增大所述流稳定杆的横截面积来实现，且其中所述流稳定杆的所述外表面基本上是连续的。

2.根据权利要求1所述的流体感测设备，其中所述流体流动通道的横截面是圆形，且其中所述限流部分包括减小所述流体流动通道的所述外壁的直径。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的流体感测设备，其中由所述流稳定杆的所述外表面限定的横截面积沿着所述流体感测部分的基本上整个长度基本恒定。

4.根据权利要求1所述的流体感测设备，其中所述限流部分包括增大由所述流稳定杆的所述外表面限定的横截面积。

5.根据任一前述权利要求所述的流体感测设备，其中所述流稳定杆包括一个或多个内部流道，所述一个或多个内部流道限定与所述流体感测部分隔开的所述流体流动通道的额外流动部分。

6.根据任一前述权利要求所述的流体感测设备，其中所述流稳定杆沿着所述流体流动通道从所述第一位置上游的位置延伸到邻近所述第二位置的位置，或从邻近所述第一位置的位置延伸到所述第二位置下游的位置，或从所述第一位置上游的位置延伸到所述第二位置下游的位置。

7.根据任一前述权利要求所述的流体感测设备，其中所述层流元件还包括支撑件，稳定杆通过所述支撑件安装于所述流体流动通道中。

8.根据权利要求7所述的流体感测设备，其中所述支撑件限定与所述流体感测部分连通的至少一个流体流动孔。

9.根据权利要求8所述的流体感测设备，其中所述至少一个流体流动孔包括围绕所述支撑件的外周以一定间隔、优选地以规律间隔间隔开的多个流体流动孔。

10.根据权利要求8或权利要求9所述的流体感测设备，其中所述支撑件具有形状上与所述流体流动通道的所述外壁的形状对应或一致的外表面，使得在使用期间，沿着所述流体流动通道流动的流体基本上不会在所述支撑件的所述外表面与所述流体流动通道的所述外壁之间流动。

11.根据权利要求7至10中任一项所述的流体感测设备，其中所述支撑件以可移除方式固定在所述流体流动通道内。

12.根据任一前述权利要求所述的流体感测设备，其中所述流体传感器配置成测量所述第一流体端口中的第一压力以及测量所述第二流体端口中的第二压力。

13.根据任一前述权利要求所述的流体感测设备，其中所述第一流体端口和所述第二流体端口形成旁通通道的部分，在使用期间，沿着所述流体流动通道的流体流的一部分沿着所述旁通通道分流，并且其中所述流体传感器配置成测量通过所述旁通通道的旁通流率。