[发明专利]MEMS一体化平面电极及含其的电化学角加速度传感器有效
| 申请号： | 202010329618.8 | 申请日： | 2020-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN111474575B | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 王军波;刘博文;陈德勇;许超;梁天;齐文杰;郑希宸;佘旭 | 申请（专利权）人： | 中国科学院空天信息创新研究院 |
| 主分类号： | G01V1/18 | 分类号： | G01V1/18;G01P15/08 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴梦圆 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种MEMS一体化平面电极及含其的电化学角加速度传感器，该MEMS一体化平面电极包括衬底；环形流道；环形阵列电极组，其设置在环形流道内，环形阵列电极组的每个电极组均包括第一阴极、第二阴极和两个阳极；阳极环形引线；第一阴极环形引线；第二阴极环形引线；以及平面电极密封连接区，其设置在环形流道两侧上，用于和封装外壳连接。本发明实现了电极一体化，无需四电极结构与绝缘层之间的对准操作，提高了器件的一致性；大大简化了器件的电极制作以及封装工艺，有利于器件的大规模生产和应用。 | ||
| 搜索关键词： | mems 一体化 平面 电极 电化学 角加速度 传感器 | ||
【主权项】：
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