[发明专利]一种用于机械手交接的检测方法及检测装置有效
| 申请号： | 202010328543.1 | 申请日： | 2020-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN113548443B | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 刘凯;胡松立;王刚 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/52 | 分类号： | B65G47/52;B65G47/90;B65G43/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于机械手交接的检测方法及检测装置。检测方法包括：多次将机械手移动至硅片传输框架上的第一检测工位，获得多次位置之间的第一误差，若第一误差大于预定值，则调整或更换机械手；机械手工作一段时间后，多次将机械手移动至第一检测工位，获得多次所测量位置之间的第二误差，若第二误差大于预定值，则判断机械手漂移，并校正机械手在各工位的位置；多次将机械手移动至整机框架上的第二检测工位，获得多次所测量位置之间的第三误差，若第三误差大于预设值，则判断硅片传输框架与整机框架之间存在相对漂移。本发明有助于全方位、高效率地解决机械手硅片交接失败的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 机械手 交接 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司，未经上海微电子装备(集团)股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010328543.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种自压紧的压送链结构
- 下一篇：一种小尺寸轴套运送链的顶起结构
