[发明专利]氮化铝纳米颗粒及其制备方法在审
| 申请号： | 202010324938.4 | 申请日： | 2020-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN113548648A | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 黄俊;徐科 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | C01B21/072 | 分类号： | C01B21/072;B82Y30/00;H01L51/44 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氮化铝纳米颗粒及其制备方法，本发明采用氮源气体、铝源气体作为反应物料，在特定压强和温度条件下进行反应，并通入载气，获得了粒径为5‑60nm，杂质质量含量低于10ppm的纳米尺寸、高纯氮化铝纳米颗粒，解决了现有技术中其他制备方法存在的粒度和纯度问题，应用范围非常广阔，能直接用于作为大尺寸氮化铝单晶制备的原料。 | ||
| 搜索关键词： | 氮化 纳米 颗粒 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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