[发明专利]利用棱镜的激光束均化器及包括其的激光热处理装置

摘要

公开了利用棱镜的激光束均化器及包括其的激光热处理装置，激光束均化器包括对输入的激光束的行进方向进行变更的棱镜。所述棱镜包括：分离面，将输入的所述激光束分离成向与所述激光束的行进方向垂直的方向行进的反射成分和向所述棱镜内部进入的折射成分；以及至少两个以上的内部反射面，在内部反射所述折射成分。所述激光束均化器输出包括第一成分和第二成分的激光束，所述第一成分定义为所述反射成分，所述第二成分在所述内部反射面反射后通过所述分离面放射并跟随所述第一成分的路径，所述第二成分具有与所述第一成分的强度模式相比针对第一轴翻转的强度模式。